BX-系列电光调Q激光器

InnoSlab 激光器简介：

调Q的InnoSlab激光器主要由一块板条状晶体和一个Pockel盒组成. 典型的输出光束近场光强分布如下图所示（左）。晶体泵浦截面小尺寸方向泵浦截面近似呈高斯形光强分布，大尺寸方向光强分布呈带有衍射结构的近平顶分布。使用柱形望远镜系统和空间滤波器可将光束截面整形成对称结构。图中（右）为经过光学整形和空间滤波后的远场功率密度图。通过空间滤波器后，光束在稳腔和非稳腔两个方向的M2因子分别为1.1和1.2。InnoSlab激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等。

通过光束整形系统，亦可将一维平顶分布整形成二维平顶分布的矩形或方形光束截面。具有矩形或方形截面的二维光束是薄膜高速度激光烧蚀技术的理想解决方案。

通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合, 使得InnoSlab激光器对比其它激光器类型拥有非常多的优点和其它激光器类型不具备的独特性能。

• 短脉宽和高峰值功率–产生的极其微小的热区域, 更适于高精度加工
• 近似理论值极限的高光束质量–更适合微加工
• 高功率和功率可提升–更高的生产效率
• 结构紧凑和性能稳定可靠–低运行成本
• 高效率- 低能耗，利于环保
• 输出光斑分布的高灵活性-绿色加工和最大的能源效率
• InnoSlab短脉冲和超短脉冲激光器标准产品包括以下各种电光调Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介质, 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
• 光束质量: M² < 2
• 脉冲能量可达到 60mJ
• 脉宽可达到 4ns以下
• 峰值功率可达到 7MW
• 脉冲重复频率可到 150 kHz
• 平均功率可达 600W
• 波长 1064、 532、 355、266nm
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• EdgeWave标准产品范围包括InnoSlab 激光器、外围激光系统以及控制软件。InnoSlab激光器包括短脉冲激光器、超短脉激光器。可以给玻璃加工、金属加工、陶瓷加工和塑料加工提供各种类型的InnoSlab 激光器。我们的激光器适用于钻孔 、深钻、雕刻、清洗、抛光、表面刻记、玻璃内雕、切割和三维高速成形。短脉冲激光器是基于独特InnoSlab激光技术的二极管泵浦Q开关固态激光器。标准的短脉冲激光器包括具有不同激光介质，脉冲能量，输出功率和波长选择的电光Q开关InnoSlab激光器；InnoSlab激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等。超短脉冲激光器为半导体激光器泵浦的锁模固体激光振荡放大器。它是基于InnoSlab激光技术实现的. 通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合，InnoSlab超短脉冲激光器具有以下极具优势的特征:结构紧凑、高效率和高增益、高光束质量、可扩展性。
• BX – 系列激光器主要特点:
• 光束质量: M² < 2
• 脉冲能量可达到 8mJ
• 脉宽可达到 4ns以下
• 峰值功率可达到 1MW
• 脉冲重复频率可到 150 kHz
• 平均功率可达 80W
• 波长 1064、 532、 355、266nm

BX – 系列激光器主要应用领域:

• 光伏行业，如: Si晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导导电层和绝缘层的烧蚀
• 显示领域，如: 导电层的织构化，硅片的有序横向晶化, 玻璃钻孔和切割
• 电子行业，如: 对印刷电路板的切割和钻孔
• 玻璃工业，如:微钻孔和高速亚表面内雕
• 工具和机械领域，如: 三维烧蚀快速成形

• 型号	BX1064-1	BX532-2	BX355-3	BX266-4
  中心波长	1064nm	532nm	355nm	266nm
  光束质量	1.1	1.1	1.6	2
  最大平均功率	80W	40W	12W	6W
  最大重复频率	100KHz	100KHz	10KHz	10KHz
  最大单脉冲能量	7mJ	3mJ	1.5mJ	1mJ
  最小脉冲宽度	1ns	1ns	1ns	1ns
  能量稳定性RMS	1%	2%	3%	3%
  光斑尺寸	3mm	3mm	3mm	3mm
  指向稳定性	＜50urad	＜50urad	＜50urad	＜50urad
  光束发散角	500urad	250urad	241urad	226urad
  偏振	＞100:1	＞100:1	＞100:1	＞100:1