激光微加工模块
根据用户在不同应用领域的不同指标需求Spearay系列按照所搭载移动平台的精度高低依次被分为标准型Spearay-S、高精度型Spearay-H以及超高精度型Spearay-U。Spearay激光加工模块采用独特的花岗石龙门框架结构,使得整个加工系统具有优良的加工稳定性;运动平台可按照用户要求定制选用,包括美国Aerotech、德国PI以及美国Thorlabs等多家公司的高品质高精度移动平台可供用户选择。其高移动精度和大行程范围使得配备该加工模块的激光加工系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。同时,Spearay系列激光加工模块具有很强的扩展性,可与其他公司的激光系统兼容。配合激光系统,Spearay激光加工模块可在激光刻蚀、表面处理和3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属、半导体、陶瓷等多种材料的钻孔和切割等超精细加工领域成为强有力的加工工具,是工业和科研用户的理想选择。
主要特点:
· 花岗石龙门框架结构,整个模块稳定可靠
· 搭载高品质进口三维移动平台,
· 平台具有大移动行程、高移动精度
· 移动平台可按用户需求自由选择
· 可根据用户要求定制工装
· 模块化设计、扩展性强,
· 加工模块可与其它公司激光系统兼容
主要参数:
型号 |
Spearay-S |
Spearay-H |
Spearay-U |
中心波长 |
X,Y ,Z |
X,Y ,Z |
X,Y ,Z |
脉冲宽度 |
150 mm,150 mm,50 mm |
150 mm, 150 mm, 50 mm |
160 mm, 160 mm,50 mm |
输出功率 |
0.09% , 0.09% , 0.09% |
~ |
±0.3μm, ±0.3μm, ±1.5μm |
重复频率 |
±2.5μm, ±2.5μm, ±2.5μm (双向) |
±0.1μm, ±0.1μm, ±0.1μm (单向) |
±0.025μm, ±0.025μm, ±0.5μm (单向) |
光束质量 |
~ |
8.5nm, 8.5nm, 8.5nm |
1nm, 1nm, 100nm |
能量稳定性 |
20 kg, 20 kg, 5 kg |
20 kg, 20 kg, 5 kg |
12 kg, 12 kg, 2.5 kg |
对比度 |
490mm*450mm*645mm |
490mm*450mm*645mm |
490mm*450mm*645mm |
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产品型号:Spearay系列
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产品名称:激光微加工模块
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产品品牌:尚泰光电
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咨询电话:13681635035