飞秒激光微加工系统
Sabray飞秒微加工系统属于超精细加工工具，它主要基于UpTek公司的Phidia系列飞秒激光系统和Spearay系列激光加工模块，并配置了德国Scoroff高端机柜。整个系统结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。无论是科研用户还是工业用户， UpTek 公司的飞秒超精细微加工系统都可以为其提供良好的解决方案和应用。例如：超快激光刻蚀、表面处理和表面3D雕刻、触摸屏和ITO切割以及金属陶瓷等材料的钻孔和切割等等
主要特点：
· 工业级稳定性、长寿命飞秒激光系统
· 模块化设计的激光加工头
· 花岗石龙门结构, 高加工可靠性和稳定性
· 高移动精度和大移动行程
· 扩展性强,可兼容使用其它公司超快激光系统
应用领域：
· 超快激光刻蚀
· 触摸屏玻璃和ITO切割
· 表面处理和表面3D结构制作
· 超精细钻孔和切割
· 金属、非金属和复合材料的高精度微细加工
· 光波导制造
· 纳米颗粒材料制备
主要参数：
系统激光器参数：
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产品系列 |
标准型飞秒激光器 |
定制型飞秒激光器 |
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型号 |
Phidia-10- FS/HFS |
Phidia-10-SP/HSP |
Custom |
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中心波长 |
790±10nm |
800±20nm |
266、400、355、532、800、1030、1064、1550 nm |
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脉冲宽度 |
<120 fs |
<40 fs |
500fs-35fs |
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输出功率 |
>1W/2W |
>1W/2W |
1-20W |
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重复频率 |
1kHz -10kHz |
1kHz -10kHz |
1kHz -200kHz |
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光束质量 |
M2 <1.3(TEM00) |
M2 <1.3(TEM00) |
M2 <1.4(TEM00) |
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能量稳定性 |
<0.75% RMS |
<0.75% RMS |
～ |
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对比度 |
>1000:1 pre pulse. >150:1 post pulse |
>1000:1 pre pulse. >150:1 post pulse |
～ |
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指向稳定性 |
<20 urad/ºC |
<20 urad/ºC |
<50 urad/ºC |
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光斑尺寸 |
6 mm |
6 mm |
＜10 mm |
加工模块参数：
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型号 |
Spearay-S |
Spearay-H |
Spearay-U |
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中心波长 |
X,Y ,Z |
X,Y ,Z |
X,Y ,Z |
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脉冲宽度 |
150 mm,150 mm,50 mm |
150 mm, 150 mm, 50 mm |
160 mm, 160 mm,50 mm |
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输出功率 |
0.09% , 0.09% , 0.09% |
～ |
±0.3μm, ±0.3μm, ±1.5μm |
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重复频率 |
±2.5μm, ±2.5μm, ±2.5μm (双向) |
±0.1μm, ±0.1μm, ±0.1μm (单向) |
±0.025μm, ±0.025μm, ±0.5μm (单向) |
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光束质量 |
～ |
8.5nm, 8.5nm, 8.5nm |
1nm, 1nm, 100nm |
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能量稳定性 |
20 kg, 20 kg, 5 kg |
20 kg, 20 kg, 5 kg |
12 kg, 12 kg, 2.5 kg |
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对比度 |
490mm*450mm*645mm |
490mm*450mm*645mm |
490mm*450mm*645mm |
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产品名称：飞秒激光微加工系统
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产品型号：Sabray
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产品品牌：Uptek
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咨询电话：13681635035
