飞秒激光微加工系统

Sabray 飞秒微加工系统是一种超精密微加工工具，主要基于UpTek的Phidia飞秒激光系统、Spearay系列激光加工模块、德国Scoroff高端机柜，整个系统结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。

Phidia的40fs至100fs的超短脉冲宽度和高达5W的输出功率使Sabray能够有效地处理各种类型的材料。Spearay的大理石底座和龙门结构确保系统在加工中的稳定性。精密移动平台的高精度和大扫描范围为超精密加工提供了广阔的空间。作为超精密加工领域的有力工具，Sabray可广泛用于激光蚀刻，表面处理和3D雕刻，触摸屏ITO切割以及金属，半导体，陶瓷和其他材料的钻孔和切割。无论是科研用户还是工业用户， UpTek 公司的飞秒超精细微加工系统都可以为其提供解决方案。

对于不同的应用领域，Sabray可选配不同的激光加工模块：

• XY轴的行程刻度为150 mm，Z轴的行程刻度为50 mm。在XYZ轴上的双向重复性均为+/- 2.5um。
• XY轴的行程刻度为150 mm，Z轴的行程刻度为50 mm，在XYZ轴上的单向重复性为+/- 0.1um。
• XY轴的行程刻度为160 mm，Z轴的行程刻度为50 mm，XY轴的单向重复性为+/- 0.025um，Z轴的单向重复性为+/- 0.05um。
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